[2025 하반기 반도체 첨단분석 분야 연사 초청 특강(1회차)_한국표준과학연구원 장정훈 책임연구원]
1. 일시: 2025. 8. 6.(수) 14:00 ~ 16:00
2. 장소: 인덕관 101호
3. 강연자: 한국표준과학연구원 장정훈 책임연구원
4. 연제: PiFM의 원리 및 측정/분석 유의점
5. 내용
1. Nanoscopy 소개
- 탐침 기반 나노 현미경 (SNOM, TERS, TEPL, PTIR (AFM-IR), PFIR 및 PiFM) 에 관한 이해
2. PiFM 원리 및 메커니즘 분석
- 광유도 쌍극자 힘 (PiDF), 광유도 열팽창 힘 (PiTF) 의 이해
- PiFM의 구동 모드 (homodyne / heterodyne)
3. PiFM측정/분석 유의점
- PDMS contaminant, 측정 조건 설정 기준, 스펙트럼 및 이미징 해석의 유의사항